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  试剂级氢氟酸为无色透明液体 ,沸点 112 . 2 ℃,在空气中发烟 ,有刺激性气味 ,是剧毒。能与一般金属、 金属氧化物以及氢氧化物发生反应 ,生成各种盐类。腐蚀性极强 ,能侵蚀玻璃和硅酸盐而生成气态的四氟化硅。易溶于水、醇 ,难溶于其他有机溶剂。高纯氢氟酸为强酸性清洗、 腐蚀剂 ,可与硝酸、冰醋酸、 双氧水及氢氧化铵等配置使用。

试剂级氢氟酸可将其划分为四个档次：

1 低档产品，用于>1.2μmIC工艺技术的制作；

2 中低档产品，适用于0.8～1.2μmIC工艺技术的制作；

3 中产品，适用于0.2～0.6μmic工艺技术的制作；

4 产品（UPss），适用于0.09～0.2μm和<0.09μm IC工艺技术的制作。